真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大領域，產(chǎn)值不高溝通機製，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產(chǎn)品。真空泵從高/超真空到粗/低真空註入新的動力，其產(chǎn)品大致可分14大類：

　　高/超真空——低溫泵領先水平、分子泵、濺射離子泵雙重提升、鈦升華泵戰略布局、擴散泵。

　　中真空——干泵表現明顯更佳、雙級旋片泵狀態、羅茨泵、油增壓泵指導、水蒸氣噴射泵廣泛認同。

　　粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵流動性、液環(huán)泵共同努力、往復式真空泵。

　　真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化追求卓越。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大逐漸完善。

　　目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元合理需求，年增長率在7%左右是目前主流。

　　我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多充分發揮，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額充分發揮。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出選擇適用，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎設計，國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領域得到應用并經(jīng)過驗證業務指導，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評優化程度，應該說我國真空泵制造業(yè)在國內外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間積極性。

　　1.液環(huán)泵

　　雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在我國的石油不斷豐富、化工實施體系、電力、輕紡各有優勢、造紙效果較好、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場。在國外持續，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%等多個領域，僅次于干泵，所以Nash產品和服務、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡應用擴展，不斷擴大在我國的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件前景，加工要求也不高進一步意見，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢共享應用，關鍵是要改進設計生產能力，縮小體積，減輕重量示範推廣，提高效率堅持好，降低能耗。

　　2.滑閥泵

　　由于滑閥泵比較耐用大幅增加、可靠特性，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥等特點、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵建言直達，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴充分發揮。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入市場發展成就，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油重要方式，提高滑閥泵長期運行的可靠性關註。

　　3.直聯(lián)旋片泵

　　隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大無障礙。由于這種泵數(shù)量很多連日來，加工裝配工作量很大，價格又很低認為，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠系統。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術上已經(jīng)過關，價格又遠比國外的泵便宜文化價值，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢形式，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題置之不顧，確保直聯(lián)泵在高速不斷完善、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力方便。

　　4.羅茨泵

　　從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看基礎上，國外幾家大公司，如Leybold應用領域、Balzers保持競爭優勢、Alcatell、Edwards和ULVAC發展機遇，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%長效機製，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大全技術方案，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多分享。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)信息化，為了縮短抽氣時間方式之一、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入市場新型儲能，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲創新能力，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量範圍，提高泵內的光潔度和清潔度求得平衡。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性至關重要。

　　目前雙向互動，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經(jīng)成熟設計能力。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器品牌，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得平衡更為一致，所以這種泵可以直排大氣等形式。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用研究與應用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵飛躍，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質全面協議，實際上也是屬于干泵重要部署。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油工具、化工智慧與合力、塑料、農(nóng)藥重要的角色、汽輪機轉子動平衡開放要求、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用平臺建設。

　　5.分子泵

　　分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵服務機製，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復合分子泵和牽引泵作為主泵使用。

　　由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一大幅拓展，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速更加堅強，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板與時俱進，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲不斷豐富，其他氣體則由分子泵抽走實施體系。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質量各有優勢。隨著我國半導體工業(yè)效果較好、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點持續。首先開拓創新，分子泵要從小到大建立完整系列持續發展，并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵促進善治，以滿足不同場合的需要擴大。

　　6.干泵

　　國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業(yè)發揮效力、化學工業(yè)新格局、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本安全鏈，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵顯示，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質量真正做到。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求科普活動，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵強化意識、螺桿式真空泵長期間、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等現場。極限壓力從10Pa～10-2Pa高端化，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計不久前，目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%用上了，國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口提升行動，其價格十分昂貴能力建設。所以，我國應大力研究開發(fā)干泵研究進展，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點無障礙。